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VCA100 series
ALD Valve

카테고리

  • UHP | Valves | ALD Valves

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  • Ordering Information
  • Specification

Dimensions

 


Type Part Number A B C D E H
UCR VCA100-04M 26 Four M5 Tap P.C.D 25.4 37.8 58.4 11.1 84.2 mm
(Normal Type)
109.6 mm
(High Temp. Type)
VCA100-04F 26 Four M5 Tap P.C.D 25.4 37.8 70.6 11.1

Ordering Information

Part NumberConnection OptionMax Temp.
Option
Sensor OptionOperation Type
SizeTypePort
VCA10011 : 1.125“
04 : 1/4“
W : W-Seal
C : C-Seal
M : UCR Male
F : UCR Female
2 : 2 Port
3 : 3 Port
1 : 120°C
2 : 200°C
1 : N/A
2 : Actuator Sensor
1 : Pneumatic N.C
2 : Pneumatic N.O

Specification

Cv Value0.27
Working PressureVacuum to 145 psig
Max. Working TempNormal Type : 0~120°C(32~248°F)
High Temp. Type : 0~200°C(32~392°F)
Inboard leakage
Allowance-He
1x10-9 atm.cc/s
Internal leakage
Allowance-He
1x10-9 atm.cc/s
MaterialsBody316L VAR SS
ActuatorALUMINUM
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