원소재

모든 원소재는 ASTM A 479와 SEMI F20에 명시된 스테인리스 스틸의 화학성분, 기계적 성질 및 입계 크기를 만족해야 한다.

Grade GP HP/UHP
ASTM No. ≤ 7 ≤ 5

가공

모든 부품은 도면 및 SEMI F44에 따라 가공이 진행된다.
조도는 표먼처리 가공 및 표먼처리 사양에 따라 구분하며 ASME B46.1에 의거 조도 테스트가 이루어진다.

표면 사양

모든 부품은 ASTM A967에 의거 부동태처리가 되어 있어야 한다. 전해연마 후 제품의 산화층 두께는 20A 이상이어야 하며, 크롬과 철, 산화층에 있는 크롬과 철의 비율이 아래 테이블에 규정되어 있는 바를 만족해야한다.

Grade Atomic Percent
SEMASPEC 90120403B Cr : Fe ≥ 1.5
Cr O : Fe O ≥ 3.0

정밀 세정

모든 부품은 당사 세정 시스템에 의거 초음파 세정 및 7단 DI 세정이 이루어지며, 세정 후 Hot N2 건조가 이루어진다. 유로 내부의 잔류 수분이 복원되는 시간은 SEMI F58에 의거 진행이 된다.

용접성

모든 부품은 샘플링을 추출하여 정기적으로 용접성 테스트를 거친다. 용접성 테스트는 SEMI F78과 AWS D18.2에 의거 진행이 되며, 용접성 테스트 시 아래 항목을 모두 만족해야 한다.

  • 모든 용접은 전체 내, 표면 주우이에 완전히 침부되어야 한다.
  • 육안 검사 시 균열이나 틈새가 발견되어서는 안된다.
  • 육안 검사 시 용접 내명에 변색이 보여서는 안된다. 다만, 직경 50mm이하의 약간 푸른색 변색은 허용한다.

조립 테스트

UHP Fitting은 제조 시 샘플링을 추출하여 조립테스트를 진행한다. 제품의 체결 Torque 및 Seal의 손상 정도를 파악하고, 구성된 Spool의 누설을 확인한다.

청정 시스템 사양

모든 부품은 크린룸에서 세정, 조립, 포장이 이루어지며, 외부 오염을 배제하기 위해 진공 및 이중 포장이 이루어진다.

- Federal Standard 209 ISO 14644-1
Clean Room Class 100 Class 5 (3520)
Final Packing Class 10 Class 4 (352)